行性质	选项	适用条件	必须核对	主要取舍	证据/版本	费用范围	决定及原因
技术路线比较	背光轮廓	目标主要是外形孔或透过特征	轮廓与所失表面信息	边缘清楚不等于表面检测适用	待附实际依据	待明确范围	待评审
技术路线比较	明场反射	目标标记与存在特征	材质角度曝光及饱和	直接信息强但需控制反射	待附实际依据	待明确范围	待评审
技术路线比较	低角度暗场	需要突出散射边缘或划伤	方向变化及正常表面对照	突出部分特征不代表覆盖全部缺陷	待附实际依据	待明确范围	待评审
技术路线比较	漫射照明	反光干扰影响稳定判断	目标缺陷是否也被弱化	均匀成像仍需验证任务对比	待附实际依据	待明确范围	待评审
待填